A 'lithographic processing simulator' is a "software" package used in the design phase to define the sequence of lithographic, etching and deposition steps for translating masking patterns into specific topographical patterns in conductors, dielectrics or semiconductor material.
Un 'simulateur de traitement lithographique' est un logiciel utilisé dans la phase de conception pour définir la séquence des stades de lithographie, de gravure et de dépôt pour transformer des figures de masque en figures topographiques spécifiques dans les conducteurs, les diélectriques ou les matériaux semi-conducteurs.
